Προσδιορισμός | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20 (Ρουλεμάν αέρα) |
Τύπος κινητήρα | Τριφασικός κινητήρας χωρίς σίδερο | Κινητήρας φωνητικού πηνίου+ |
Ανάλυση | Προεπιλεγμένη ψηφιακή ποσότητα 100nm | 1vpp έως 5nm |
ώθηση κινητήρα | Συνεχής 60N/κορυφή 210N | Συνεχής 60N/κορυφή 210N |
Ελάχιστο μέγεθος βήματος[nm] | 200 nm | 100 nm |
Ταξίδι [mm] | 200×200 | 10 |
Επαναληψιμότητα [um] | ±0,3 | |
Ακρίβεια θέσης [um] | ±1 | ±0,5 |
Επιπεδότητα [um] | 10 μ | 5 μμ |
Ευθύτητα [um] | 1μ | 1μ |
Μέγιστη ταχύτητα [mm/s] | 500mm/s | 30 mm/s |
Χωρητικότητα φορτίου [kg] | 5kg (άξονας Z με πνευματικό βάρος ισορροπίας σταθερής δύναμης) |